アウトガス分析サービス

露光中のレジストから発生するアウトガスは露光機のレンズを曇らせたり、コンタミネーションの原因となります。露光中にどのようなガスが発生するかを検討することが出来ます。

最近はArF露光におけるレジストからのアウトガス分析の需要が高まってきています。

露光中レジストから発生するアウトガスについて詳しくはこちらのレポートをご覧ください。

露光中のアウトガス分析方法

イオンクロマト(IC)分析

露光中にPAG由来で発生するカチオンやアニオンをインピンジャー捕集液に捕集し、ICにより分析します。


イオンクロマト(IC)分析
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測定メニュー

  • ノボラックレジスト

  • g(436nm)レジストの露光中のアウトガス(アニオン・カチオン)分析
  • h(405nm)レジストの露光中のアウトガス(アニオン・カチオン)分析
  • i(365nm)レジストの露光中のアウトガス(アニオン・カチオン)分析
  • ブロード光対応レジストの露光中のアウトガス(アニオン・カチオン)分析

  • CAレジスト

  • KrF(248nm)レジストの露光中のアウトガス(アニオン・カチオン)分析
  • ArF(193nm)レジストの露光中のアウトガス(アニオン・カチオン)分析
測定装置
  • 【UVES2000】OF露光およびガス捕集装置

GS-MS分析

露光中の樹脂または脱保護由来などで発生するVOC（揮発性有機溶剤）を捕集管に捕集し、GC-MSにより分析します。


GS-MS分析
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測定メニュー
測定装置