プロセスマージン解析

リソグラフィーシミュレーションProlithにより、リソグラフィー・シミュレーションで求めたパラメータまたは、現像特性の評価・解析で求めた現像速度データ用いてシミュレーションを行います。

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FE(Foucus-Exposure)マトリクス分析





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限界解像度の評価





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【PROLITH】リソグラフィ・シミュレータ