現像パラメータ測定

フォトレジストの現像に関わるシミュレーションパラメータです。感光剤濃度または保護基濃度と現像速度の関係を求めます。
現像モデルは3種類です。

▼Mackのオリジナルモデル
▼Mackのエンハンスドモデル
▼ノッチモデル

ノボラックレジストとCAレジストの現像パラメータ測定メニューをご用意しています。また、表面難溶化パラメータも現像パラメータとして測定します。