ABCパラメータ測定
ABCパラメータは、フォトレジストの感光性に関わるシミュレーションパラメータです。ノボラックレジストとCAレジストのABCパラメータ測定メニューをご用意しています。
測定メニュー
ノボラックレジスト
g(436nm)レジストのABCパラメータ測定
G線レジストのABCパラメータ測定例
レジスト：OFPR-800
露光波長：436nm
膜厚：1.0μm
h(405nm)レジストのABCパラメータ測定
i(365nm)レジストのABCパラメータ測定
I線レジストのABCパラメータ測定例
レジスト：THMR-8900
露光波長：365nm
膜厚：1.0μm
ブロード光対応レジストの
ABCパラメータ測定
CAレジスト
KrF(248nm)レジストのABCパラメータ測定
KrFレジストのCパラメータ測定例
レジスト：アセタールベース
露光波長：248nm
膜厚：700nm
ArF(193nm)レジストのABCパラメータ測定
ArfレジストのCパラメータ測定例
レジスト：アセタールベース
露光波長：193nm
膜厚：400nm
測定装置
【UVES-2000】
ABCパラメータおよびOF露光
【ArFES-3000】
193nmにおけるABCパラメータ
